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NS-XY100Z100-01 重载XYZ三维纳米定位平台
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产品编号
NS-XY100Z100-01
所属分类
三维纳米台
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库存:
1
产品描述
产品规格
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NS-XY100Z100-01 重载XYZ三维纳米定位平台
NS-XY100Z100-01是一款高精度大负载三维纳米定位平台，负载可达 5kg。闭环行程可达100/100/100μm，闭环分辨率 0.5/0.5/0.5nm。
典型应用
• 显微成像 • 半导体加工
• 激光加工 • 光学测量
• 表面检测
关键词:
重载位移台
纳米位移台
压电定位台
高精度定位系统
纳米定位平台
三维位移台
柔性铰链平台
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