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NS-XY200Z100-01 重载XYZ三维纳米定位平台
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产品编号
NS-XY200Z100-01
所属分类
三维纳米台
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1
产品描述
产品规格
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NS-XY200Z100-01 重载XYZ三维纳米定位平台
NS-XY200Z100-01是一款高精度大负载三维纳米定位平台，负载可达5kg。闭环行程可达200/200/100μm，闭环分辨率 0.8/0.8/0.5nm。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 表面检测 • 光学测量
• 半导体加工
关键词:
纳米位移平台
高精度运动控制系统
压电位移台
压电定位台
三维定位台
电控位移台
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