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NNS-Z250-01 Z轴纳米定位平台
NNS-Z250-01是一款Z轴方向的运动台，闭环行程250μm，闭环分辨率0.6nm。可更换不同的物镜接口，用于物镜调焦及扫描。
典型应用
• 显微成像
• 物镜调焦及扫描
• 晶圆切割
• 高精度自动对焦
• 微电子精密加工
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