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ERUA200 高精度气浮旋转平台
ERUA系列旋转台采用闭式大承载气浮结构设计，大扭矩直驱电机驱动，圆光栅反馈系统，实现高分辨率、高精度、高负载运动控制。
特点
• 超高刚性 • 超大承载力
典型应用
• ERUA系列气浮转台非常适用于高精度应用，精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。由于运动无摩擦，不会形成颗粒，ERUA系列气浮转台非常适用于无尘室应用。
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